普泰克制冷設(shè)備
專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控
服務(wù)熱線：15214387784
專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控
服務(wù)熱線：15214387784
產(chǎn)品中心
PRODUCTS CENTER產(chǎn)品分類
Chiller主要用于半導(dǎo)體制程中對多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負(fù)載的情況下控溫精度可達(dá)±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。
Chiller（刻蝕工藝機(jī)專用），專為半導(dǎo)體刻蝕（Etch）制程中嚴(yán)苛的溫度控制需求量身打造。該設(shè)備以“精準(zhǔn)動(dòng)態(tài)控溫、潔凈安全運(yùn)行、智能集成定制\\“為核心導(dǎo)向，力求為刻蝕腔室提供穩(wěn)定、可靠、合規(guī)的專屬冷源支持。
普泰克 半導(dǎo)體散熱器Chiller，依托品牌在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，專為半導(dǎo)體晶圓制造、優(yōu)良封裝測試及泛半導(dǎo)體裝備等嚴(yán)苛場景量身打造。
普泰克 半導(dǎo)體單通道 Chiller，依托品牌在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，專為半導(dǎo)體晶圓制造、優(yōu)良封裝測試及高精密儀器冷卻等單一核心負(fù)載場景量身打造。
普泰克 Semiconductor Chiller，依托品牌在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累與成熟的模塊化部件平臺，專為半導(dǎo)體晶圓制造、優(yōu)良封裝測試及泛半導(dǎo)體裝備等嚴(yán)苛場景量身打造。
普泰克 流體氟化液控溫chiller，依托品牌在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，專為半導(dǎo)體優(yōu)良制程（如晶圓清洗、浸沒式液冷測試）、高精密儀器冷卻及新能源等對絕緣、潔凈度及溫控精度有嚴(yán)苛要求的場景量身打造。
Copyright © 2026 普泰克（上海）制冷設(shè)備技術(shù)有限公司版權(quán)所有 備案號：滬ICP備2021029247號-5
技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登錄 sitemap.xml
當(dāng)前位置：
