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普泰克 快速溫變測試箱Chiller,依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累與成熟的模塊化部件平臺,專為航空航天、汽車電子、新能源電池及半導體等領(lǐng)域的材料應(yīng)力篩選與可靠性驗證量身打造。
普泰克 三溫測試箱專用Chiller解決方案,依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累與成熟的模塊化部件平臺,專為半導體封裝測試(ATE)環(huán)節(jié)中的芯片高低溫性能驗證與可靠性評估量身打造。
普泰克 擴膜機專用Chiller解決方案,依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累與成熟的模塊化部件平臺,專為半導體先進封裝(如晶圓減薄、晶圓貼膜/擴膜工藝)等對溫度極其敏感的嚴苛場景量身打造。
普泰克 晶圓制造領(lǐng)域控溫Chiller,在晶圓制造的光刻、刻蝕、薄膜沉積(CVD/PVD)、CMP研磨及離子注入等核心制程中,溫度控制的精度與穩(wěn)定性直接影響晶圓表面的化學反應(yīng)速率、薄膜生長質(zhì)量與關(guān)鍵尺寸(CD)的控制精度。
普泰克 真空腔體冷板Chiller,在真空熱試驗、半導體晶圓測試、航空航天部件可靠性評估及薄膜沉積等工藝中,真空環(huán)境由于缺少空氣對流傳熱機制,負載的熱量交換主要依賴熱傳導與熱輻射。為真空腔體內(nèi)的冷板提供穩(wěn)定且精準的低溫或變溫環(huán)境,是保障測試數(shù)據(jù)有效性與工藝一致性的重要環(huán)節(jié)。
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