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普泰克制冷設(shè)備

專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控

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普泰克 真空腔體冷板Chiller
產(chǎn)品簡介:

普泰克 真空腔體冷板Chiller,在真空熱試驗(yàn)、半導(dǎo)體晶圓測試、航空航天部件可靠性評估及薄膜沉積等工藝中,真空環(huán)境由于缺少空氣對流傳熱機(jī)制,負(fù)載的熱量交換主要依賴熱傳導(dǎo)與熱輻射。為真空腔體內(nèi)的冷板提供穩(wěn)定且精準(zhǔn)的低溫或變溫環(huán)境,是保障測試數(shù)據(jù)有效性與工藝一致性的重要環(huán)節(jié)。

產(chǎn)品型號:

更新時(shí)間:2026-07-16

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪 問 量 :124

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產(chǎn)品介紹

普泰克 真空腔體冷板Chiller核心優(yōu)勢介紹

在真空熱試驗(yàn)、半導(dǎo)體晶圓測試、航空航天部件可靠性評估及薄膜沉積等工藝中,真空環(huán)境由于缺少空氣對流傳熱機(jī)制,負(fù)載的熱量交換主要依賴熱傳導(dǎo)與熱輻射。為真空腔體內(nèi)的冷板提供穩(wěn)定且精準(zhǔn)的低溫或變溫環(huán)境,是保障測試數(shù)據(jù)有效性與工藝一致性的重要環(huán)節(jié)。普泰克真空腔體冷板Chiller(直冷型低溫系統(tǒng))在這一細(xì)分領(lǐng)域形成了以下核心優(yōu)勢:

一、直冷型制冷,降溫效率較高

采用制冷劑在負(fù)載端蒸發(fā)器內(nèi)直接蒸發(fā)吸熱的相變制冷方式,利用液態(tài)到氣態(tài)的相變過程快速帶走熱量,降溫速度較傳統(tǒng)液冷溫差傳熱方式具有一定優(yōu)勢。PTZL系列直冷機(jī)通過液氮直接注入系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)快速降溫至目標(biāo)低溫。

二、寬溫域定制能力

支持較寬的溫度區(qū)間定制,覆蓋范圍可達(dá)-150℃至+35℃,并可依據(jù)具體工藝需求進(jìn)行非標(biāo)擴(kuò)展。對于真空罐冷板控溫,可提供-100℃至+60℃或更寬區(qū)間的全溫區(qū)雙向控溫方案,支持程序化的升降溫控制,滿足熱真空試驗(yàn)等場景對線性變溫的要求。

三、真空環(huán)境適配性

針對真空環(huán)境下傳熱方式單一、冷板表面溫度均勻性要求較高的特點(diǎn),系統(tǒng)通過優(yōu)化循環(huán)介質(zhì)流量與壓力參數(shù),確保介質(zhì)在深冷狀態(tài)下仍能順暢流經(jīng)冷板內(nèi)部微流道,有助于維持整塊冷板表面溫差的均勻性。設(shè)備接口密封等級較高,適配真空腔體對接要求。

四、全密閉循環(huán)與長期運(yùn)行穩(wěn)定

采用全密閉循環(huán)管路設(shè)計(jì),循環(huán)介質(zhì)不與外界空氣接觸,無冷媒消耗,不需要人工頻繁補(bǔ)充介質(zhì),支持連續(xù)數(shù)天甚至數(shù)周的真空熱試驗(yàn)。同時(shí)有助于避免低溫工況下管路結(jié)霜對真空系統(tǒng)的影響。全密閉系統(tǒng)在高溫運(yùn)行時(shí)不產(chǎn)生油霧,低溫運(yùn)行時(shí)不易吸收空氣中水分。

五、普泰克 真空腔體冷板Chiller智能控溫與安全防護(hù)

采用自適應(yīng)PID控制算法,支持蒸發(fā)壓力/出口溫度雙模式控制,每次控制結(jié)果的一致性較好,且免去了頻繁手動調(diào)節(jié)參數(shù)的繁瑣。系統(tǒng)配備7寸彩色觸摸屏,支持溫度曲線實(shí)時(shí)顯示與記錄,具備故障自動診斷功能。同時(shí)設(shè)有熱氣化霜功能,可快速完成除霜操作。多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)機(jī)制(循環(huán)泵故障、壓縮機(jī)過熱、壓力異常等)有助于提升運(yùn)行過程中的安全防護(hù)水平。

普泰克 真空腔體冷板Chiller


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