普泰克半導體工藝冷板冷卻器

產品簡介：

普泰克半導體工藝冷板冷卻器，在半導體刻蝕、薄膜沉積、離子注入等核心制程中，工藝腔體內的冷板承擔著精準控溫的重要職責。冷板表面溫度的均勻性與響應速度，直接影響晶圓表面的化學反應速率與薄膜生長質量。

Name: 普泰克 半導體工藝冷板冷卻器
Brand: proteco/普泰克
Price: 35000 CNY
Availability: InStock

產品型號：

更新時間：2026-07-16

廠商性質：生產廠家

訪問量：113

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產品介紹

普泰克半導體工藝冷板冷卻器核心優勢介紹

在半導體刻蝕、薄膜沉積、離子注入等核心制程中，工藝腔體內的冷板承擔著精準控溫的重要職責。冷板表面溫度的均勻性與響應速度，直接影響晶圓表面的化學反應速率與薄膜生長質量。普泰克半導體工藝冷板冷卻器（Chiller）在以下方面形成了較為突出的核心優勢：

一、精準的冷板表面溫度控制

依托高精度PID控制算法與進口鉑電阻溫度傳感器，系統力求實現每次控制結果的一致性。在特定工況下，部分機型控溫精度可達±0.1℃，有助于減少溫度波動對刻蝕速率、薄膜均勻性及關鍵尺寸（CD）控制帶來的影響，輔助提升晶圓加工良率。

二、直冷型制冷，降溫響應較快

采用制冷劑在冷板側直接蒸發吸熱的直冷型制冷方式，區別于傳統的二次換熱液冷方案。通過相變過程直接帶走熱量，降溫速度具有一定優勢。部分PTZL系列直冷機支持冷板溫度200℃時直接開啟壓縮機降溫，有助于縮短工藝切換等待時間。

三、較寬的溫度覆蓋與定制能力

支持較寬的溫度區間定制，覆蓋范圍可達-150℃至+300℃（依具體機型與定制需求而定）。可依據客戶冷板的尺寸、流道結構、熱負荷特性進行非標定制，力求匹配不同刻蝕、沉積設備對冷板溫度的具體要求。

四、冷板表面均溫性優化

針對工藝冷板對表面溫度均勻性的較高要求，系統通過優化循環介質流量與壓力參數，確保在深冷或高溫工況下介質能順暢流經冷板內部微流道，有助于維持整塊冷板表面溫差的均勻性。優化的流體動力學流道設計，力求消除局部熱點或冷點。

五、全密閉循環設計

采用全密閉式循環系統設計，循環管路與外界空氣隔離，有助于避免低溫工況下吸收空氣中水分導致介質性能改變，同時減少對真空腔體內部環境的影響。系統無冷媒消耗，無需頻繁補充介質，適合支持連續長時間運行。

六、普泰克半導體工藝冷板冷卻器安全保護與智能監控

配備彩色觸摸屏，支持溫度、壓力、流量等多參數實時顯示與記錄。系統內置多重報警保護機制，包括壓縮機過熱、制冷系統壓力異常、超溫自動斷電及故障自診斷等，有助于提升設備運行過程中的安全防護水平。

普泰克半導體工藝冷板冷卻器

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